Los anillos guía de grafito de presión isostática de alta pureza son los componentes funcionales principales del sistema de campo térmico del horno de silicio monocristalino de tracción directa (CZ). Están fabricados con precisión a partir de grafito artificial de presión isostática de alta pureza 4N/5N y se instalan principalmente sobre el crisol de grafito, en los lados interior y exterior del tubo guía y alrededor del canal de extracción de cristal.
El equipo funciona durante mucho tiempo en un ambiente de vacío con una atmósfera inerte de gas argón, a temperaturas que oscilan entre 1400 y 1600 grados centígrados. Sus funciones principales incluyen guiar el flujo de gas, restringir el campo térmico, posicionar la varilla de cristal, evitar salpicaduras de vapor de silicio y prevenir la contaminación por impurezas.
Ubicación de instalación y forma estructural.
Ubicación de instalación típica
Se coloca en la parte superior del campo térmico del horno monocristalino, entre la superficie líquida de silicio fundido y la cubierta aislante superior, rodeando la varilla de cristal semilla y la varilla de silicio monocristalino en crecimiento. Algunos modelos se combinan con un tubo guía de flujo.
Estructura principal
Estructura general en forma de anillo-, dividida en tipo de anillo integral, tipo de combinación separada, tipo de posicionamiento escalonado y tipo de guía de flujo de aire de múltiples-orificios; De acuerdo con diferentes tipos de hornos de 12-28 pulgadas, puede procesar ranuras de posicionamiento y otras estructuras de gran diámetro, paredes delgadas-y formas especiales, con una tolerancia de procesamiento que alcanza ±0,01 mm.
Salto de eficiencia Precisión y estabilidad
Guía del flujo de aire: regule la dirección del flujo de la protección del gas argón en el horno para hacer que el gas circule a lo largo de una ruta preestablecida, eliminando trazas de impurezas y calor vaporizado de la superficie del líquido de silicio y estabilizando la atmósfera interna del horno.
Confinamiento del campo térmico: utilizando las excelentes propiedades de aislamiento térmico y conductividad térmica del grafito, limita el campo de temperatura radial, reduce la diferencia de temperatura dentro del horno y evita que la varilla de cristal genere dislocaciones y grietas debido a diferencias anormales de temperatura local.
Guía de límite mecánico: proporcione posicionamiento radial para la varilla de silicio monocristal durante la extracción para evitar que la varilla de cristal se balancee o se incline, asegúrese de que la varilla de cristal crezca vertical y coaxialmente y reduzca fallas de producción como roturas y varillas torcidas.
Principio de funcionamiento central
Protección de barrera: evita las salpicaduras hacia arriba de vapor de silicio y polvo de carbono a alta-temperatura, evitando su unión a la varilla de cristal, las partes aislantes superiores del cuerpo del horno y la ventana de observación óptica, asegurando el proceso continuo y estable de extracción del cristal.
Protección limpia: el sustrato de alta-pureza no libera impurezas nocivas, lo que evita que las impurezas de metal y ceniza se mezclen con el silicio fundido y la varilla de cristal desde el principio.
Características principales de rendimiento (con soporte de datos)
(1) Pureza ultra-alta y limpieza extrema (ventaja principal)
Al utilizar tecnología de purificación profunda a alta-temperatura, el contenido de carbono fijo es mayor o igual al 99,99 % (4N) y, en el modelo premium, puede alcanzar el 99,999 % (5N); el contenido de cenizas es inferior o igual a 50 ppm, y las impurezas metálicas (Fe, Al, Ca, Cu, etc.) son inferiores o iguales a 1 ppm. En un entorno de vacío de alta-temperatura, no hay emisiones de vapores metálicos ni volátiles, lo que no contaminará el silicio fundido ni la varilla de silicio monocristalino, lo que garantiza la vida útil del portador minoritario y la eficiencia de conversión fotoeléctrica de la oblea de silicio, y cumple con los requisitos de procesamiento de alta-pureza de la energía fotovoltaica y los semiconductores.
(2) Prensado isostático, estructura isotrópica y estable.
Moldeo por prensa tridimensional isostático en frío-, con densidad de material uniforme y sin direccionalidad, la densidad de volumen es de 1,85~1,95 g/cm³. Las propiedades mecánicas y térmicas son consistentes en todas las direcciones y no se deforma, deforma ni agrieta bajo -ciclos de alta- temperatura a largo plazo, manteniendo las dimensiones límite precisas.
(3) Resistencia a temperaturas extremadamente altas-, excelente estabilidad térmica y resistencia al choque térmico
Bajo vacío/atmósfera inerte de argón, la temperatura de uso-a largo plazo es de 1400 ~ 1600 grados, y la resistencia máxima a la temperatura puede alcanzar los 2200 grados; el coeficiente de expansión térmica es de solo 4,0 ~ 4,8 × 10⁻⁶ / grado (temperatura ambiente a 1500 grados), con una expansión y contracción térmica extremadamente pequeñas. Frente a los frecuentes cambios de temperatura y al rápido enfriamiento y calentamiento del horno monocristalino, se puede utilizar de manera estable durante mucho tiempo, sin riesgos de agrietamiento o desprendimiento.
¿Quién nos elige?
1. Tecnológicamente avanzado: dominar de forma independiente la tecnología central del grafito de alta-pureza, lograr estándares de pureza 4N/5N y el recubrimiento se desarrolla de forma independiente y es más duradero;
2. Calidad estable: control de calidad completo-del proceso + certificaciones internacionales, con alta precisión dimensional y rendimiento estable a altas-temperaturas;
3. Personalización rápida: Totalmente compatible con 12-28 pulgadas de todos los tipos de hornos, las muestras se pueden producir en 7 días y la entrega por lotes se puede completar en 15 días;
4. Rentable-efectiva: cadena de suministro vertical, el precio es un 30% más bajo que el de los productos importados, con descuentos para pedidos al por mayor;
5. Excelente servicio: soporte técnico bilingüe-+ despacho de aduanas compatible + 1-años de garantía, avalado por clientes líderes.
solución integral-
equipo profesional
alta calidad
| Artículo | Valor típico | Observaciones |
|---|---|---|
| Pureza del carbono | Mayor o igual a 99,99% (4N) / Mayor o igual a 99,999% (5N) | Impurezas totales Menor o igual a 100 ppm (4N); Menor o igual a 10 ppm (5N) |
| Densidad aparente | 1,85–1,95 g/cm³ | Prensado isostático en frío, grano fino e isotrópico |
| Resistencia a la flexión | Mayor o igual a 45 MPa | Resistencia a la compresión Mayor o igual a 80 MPa |
| Contenido de ceniza | Menor o igual a 50 ppm | Purificación a alta-temperatura procesada |
| CTE (RT ~ 1500 grados) | 4,0–4,8×10⁻⁶ / grado | Buena estabilidad dimensional y resistencia al choque térmico |
| Conductividad térmica | 120–150 W/(m·K) | Distribución uniforme del calor |
| Resistividad | 8–15 μΩ·m | Incluso la conductividad eléctrica |
| Temperatura de trabajo continua. | 1400~1600 grados (vacío/Ar) | Máximo 2200 grados bajo atmósfera inerte |
| Temperatura máxima. en el aire | Menos o igual a 450 grados (sin recubrimiento) | Hasta 1800 grados con revestimiento de SiC |
| Tamaño de grano | Menor o igual a 10 μm | Estructura densa para mecanizado de alta precisión |
| Revestimiento opcional | SiC / PYC (Carbón pirolítico) | Anti-infiltración de silicio, mayor vida útil |
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