Electrodos de grafito para la fabricación de circuitos integrados.
Jincheng Graphite, como fabricante profesional de productos de grafito, proporciona electrodos de grafito con alta conductividad y alta estabilidad térmica para la fabricación de circuitos integrados. Estos electrodos están especialmente diseñados para procesos clave como litografía, grabado y deposición, y presentan capacidades de procesamiento de alta precisión, larga vida útil y bajo estrés térmico. Se utilizan ampliamente en la-industria de fabricación de semiconductores de alta gama.
Ventaja principal
Alta conductividad y estabilidad térmica.
Utilizando sustratos de grafito de alta-pureza y combinando tecnología de tratamiento de superficies a nanoescala, la conductividad alcanza más o igual a 10^5 S/m y el coeficiente de expansión térmica es menor o igual a 3,5×10⁻⁶/grado. Esto garantiza la estabilidad estructural durante procesos de alta-temperatura y evita la deformación térmica de la oblea.
Compatibilidad con procesamiento de precisión
Mediante corte por láser, grabado por plasma, etc., admite espesores de electrodos que van desde 0,05 a 3 mm y geometrías complejas personalizadas, adecuadas para equipos de procesamiento de obleas para procesos avanzados de 5 nm e inferiores, cumpliendo con los requisitos de alineación de alta-precisión.
Resistencia a la corrosión y resistencia al desgaste.
La superficie se somete a un tratamiento de pasivación química. Pasa por fuertes pruebas de corrosión ácida con HF, HNO₃, etc., y puede soportar temperaturas de hasta 1500 grados o más, lo que extiende significativamente la vida útil de los electrodos y reduce el riesgo de interrupciones del proceso.
Escenario de aplicación
Los electrodos de grafito utilizados en la fabricación de circuitos integrados se emplean ampliamente en procesos clave como el grabado con plasma (para el procesamiento en zanjas sub{0}}micrónicas profundas), la deposición química de vapor (CVD) y la deposición física de vapor (PVD). Su propiedad de bajo estrés térmico puede prevenir eficazmente los defectos causados por la expansión térmica desigual de las obleas, aumentando el rendimiento de los chips de alta-a más del 99,8 % y ayudando a lograr la miniaturización y la integración de alta-densidad de los procesos de fabricación de chips.
Especificaciones técnicas
| Conductividad eléctrica | Mayor o igual a 10^5 S/m (a temperatura ambiente) |
| Coeficiente de expansión térmica | Menor o igual a 3,5 × 10⁻⁶ / grado |
| Rugosidad de la superficie | Ra Menor o igual a 0,2 μm |
| Resistencia a la corrosión | Pasó pruebas en ácidos fuertes, álcalis fuertes y entornos de plasma. |
| Resistencia mecánica | Resistencia a la compresión Mayor o igual a 120 MPa |
Garantía de calidad del grafito Jincheng
Jincheng Graphite ha estado profundamente involucrado en el campo de los productos de grafito durante 18 años. Posee sus propios derechos de propiedad intelectual independientes para la tecnología de sinterización a baja-temperatura y la certificación del sistema de gestión de calidad ISO9001. Controla estrictamente todo el proceso, desde la purificación de la materia prima (pureza mayor o igual al 99,99%), el moldeo y el prensado hasta la sinterización a alta-temperatura para garantizar que los productos cumplan con los estrictos requisitos de la industria de semiconductores en cuanto a limpieza (grado ISO 4), estabilidad térmica (±0,5 grados) y planitud de la superficie (menor o igual a 0,1 μm).
Compromiso de cooperación
Jincheng Graphite ofrece pruebas de muestra gratuitas, respuesta técnica en 72-horas y soporte para producción de prueba a pequeña-escala. Puede personalizar las dimensiones de los electrodos, los parámetros de rendimiento conductivo y los planes de tratamiento de superficies de acuerdo con los requisitos del proceso del cliente. Está comprometido a proporcionar soluciones de electrodos de grafito confiables y de alto rendimiento para empresas globales de semiconductores. Con tecnología profesional, entrega rápida e innovación continua, se ha convertido en un socio central en el campo de la gestión térmica y el procesamiento de precisión en la fabricación de circuitos integrados.
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